2026年9月16日至18日，由全国半导体设备和材料标准化技术委员会气体分会主办、山东重山光电材料股份有限公司承办的《电子气体 三氟化硼-11（¹¹BF₃）》国家标准制定工作组会议，在山东淄博正式召开。来自各标准起草单位、电子气分会的委员代表及秘书处成员通过线上线下结合的方式参会，共同启动这项关键电子特气的国家标准编制工作。

本次会议聚焦半导体核心材料标准化建设，正式组建标准编制工作组，与会代表围绕标准草案的技术指标、试验方法、检验规则等核心内容展开充分讨论，明确了草案修改方向、全周期工作进度及各单位分工安排，为后续标准落地筑牢基础。

三氟化硼-11（¹¹BF₃）是半导体p型离子注入环节的核心硼同位素掺杂源，是支撑高端芯片、航空航天电子器件性能提升的关键特种电子气体。此前国内该领域无统一国家标准，本次标准的制定将填补行业国标空白，为产品生产、检验、储运建立统一技术规范，对完善我国电子特气标准体系、保障集成电路产业链供应链自主安全具有重要意义。

作为本次会议承办方与核心起草单位，重山光电在高丰度硼同位素电子特气领域拥有多年技术积累与成熟量产经验。会议期间，全体线下参会代表前往重山光电研发生产基地实地考察，对硼同位素富集、高纯气体提纯等核心技术成果给予高度认可。后续重山光电将联合各参与单位全力推进标准编制各项工作，以标准引领行业国产化进程，助力半导体材料产业高质量发展。